با هدف
حسگرهای حساس به فشار-حساس نیرو و نیرو-، حسگرهای موقعیت، حسگرهای سطح مایع، حسگرهای مصرف انرژی، سنسورهای سرعت، سنسورهای شتاب، سنسورهای تابش پرتو، حسگرهای حرارتی.
بر اساس اصل
سنسور لرزش، سنسور رطوبت، سنسور مغناطیسی، سنسور گاز، سنسور خلاء، سنسور بیولوژیکی و غیره.
توسط سیگنال خروجی
حسگر آنالوگ: کمیت غیر الکتریکی اندازهگیری شده را به سیگنال الکتریکی آنالوگ تبدیل کنید.
حسگر دیجیتال: کمیت غیر الکتریکی اندازهگیری شده را به سیگنال خروجی دیجیتال (شامل تبدیل مستقیم و غیرمستقیم) تبدیل کنید.
شبه-حسگر دیجیتال: مقدار سیگنال اندازهگیری شده را به سیگنال فرکانس یا سیگنال خروجی کوتاه- (شامل تبدیل مستقیم یا غیر مستقیم) تبدیل میکند.
سنسور سوئیچ: هنگامی که یک سیگنال اندازهگیری شده به آستانه معینی میرسد، حسگر یک سیگنال{0}}سطح پایین یا بالا- تنظیم شده را بر این اساس خروجی میدهد.
با توجه به فرآیند تولید آن
سنسور (شکل 3)
سنسور (شکل 3)
حسگرهای یکپارچه با استفاده از فناوریهای فرآیند استاندارد برای تولید مدارهای مجتمع نیمهرسانا مبتنی بر سیلیکون- ساخته میشوند. معمولاً بخشی از مدار برای پردازش اولیه سیگنال مورد آزمایش نیز روی همان تراشه یکپارچه می شود.
سنسور لایه نازک با قرار دادن یک لایه نازک از مواد حساس مربوطه بر روی بستر دی الکتریک (زیر لایه) تشکیل می شود. هنگام استفاده از فرآیند هیبریدی، می توان بخش هایی از مدار را نیز بر روی این بستر ساخت.
سنسور فیلم ضخیم با پوشاندن دوغاب مواد مربوطه بر روی بستر سرامیکی که معمولاً از Al2O3 ساخته میشود، ساخته میشود و سپس با حرارت{2}}برای تشکیل فیلم ضخیم عمل میشود.
سنسورهای سرامیکی با استفاده از فرآیند استاندارد سرامیکی یا یکی از انواع آن (سل، ژل و غیره) تولید می شوند.
پس از انجام عملیات آماده سازی مناسب، عنصر تشکیل شده در دمای بالا پخته می شود. ویژگیهای مشترک زیادی بین این دو فرآیند وجود دارد، سنسورهای ضخیم-فیلم و سرامیکی، و از برخی جهات، فرآیند فیلم ضخیم- را میتوان نوعی از فرآیند سرامیکی در نظر گرفت.
هر تکنولوژی فرآیندی مزایا و معایب خاص خود را دارد. با توجه به سرمایه کم مورد نیاز برای تحقیق، توسعه و تولید و همچنین پایداری بالای پارامترهای سنسور، استفاده از سنسورهای سرامیکی و فیلم ضخیم منطقی است.
با اندازه گیری
حسگرهای فیزیکی با استفاده از خواص فیزیکی خاصی از مواد اندازه گیری شده برای تغییر قابل توجه ساخته می شوند.
حسگرهای شیمیایی از عناصر حساسی ساخته شده اند که می توانند کمیت های شیمیایی مانند ترکیب و غلظت مواد شیمیایی را به کمیت های الکتریکی تبدیل کنند.
بیو{0}}حسگرها حسگرهایی هستند که از خواص موجودات مختلف یا مواد بیولوژیکی برای شناسایی و شناسایی اجزای شیمیایی موجودات استفاده میکنند.
با توجه به ترکیب آن
سنسور پایه: ابتدایی ترین دستگاه تبدیل تکی است.
سنسور ترکیبی: سنسوری است که از ترکیبی از دستگاه های مختلف تبدیل تک تشکیل شده است.
سنسور کاربردی: سنسوری است که از یک حسگر پایه یا یک سنسور ترکیبی و مکانیسم های دیگر تشکیل شده است.
با فرم عمل
با توجه به شکل عمل می توان آن را به حسگرهای فعال و غیرفعال تقسیم کرد.
سنسور فعال دارای نوع عمل و نوع واکنش است. این نوع سنسور می تواند سیگنال تشخیص خاصی را به جسم اندازه گیری شده ارسال کند، می تواند تغییر سیگنال تشخیص را در جسم اندازه گیری شده تشخیص دهد یا نوعی سیگنال تشخیص را در جسم اندازه گیری شده ایجاد کند. اثر برای تشکیل یک سیگنال. حالت تشخیص تغییر سیگنال تشخیص را نوع عمل و حالت تشخیص پاسخ و تشکیل سیگنال را نوع واکنش می نامند. آشکارسازهای رادار و محدوده فرکانس رادیویی نمونههای فعال هستند، در حالی که تحلیلگرهای اثر فوتوآکوستیک و تحلیلگرهای لیزری نمونههای واکنشی هستند.
حسگرهای غیرفعال فقط سیگنال تولید شده توسط خود جسم اندازه گیری شده را دریافت می کنند، مانند دماسنج های تابش مادون قرمز، دوربین های مادون قرمز و غیره.
